無塵室,也稱潔凈室,是指一個具有低污染水平的環境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。更準確地講,一個潔凈室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用最大顆粒大小來厘定的。低級別的潔凈室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關心空氣傳播的灰塵。
無塵凈化車間工程室的定義:空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔凈的環境。亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為潔凈室。潔凈室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥行業等,其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內,才不會對制程產生影響。作為生產設施,潔凈室可以占據廠房很多位置。
無塵凈化車間工程室系統制造符合規格之潔凈空氣,連續且穩定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內的制造區。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程:外氣經由外氣空調箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后,經由回風管道間,將潔凈室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合,經由冷卻盤管將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規格,通過循環風扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環帶走微塵及熱量,最后經過超高性能過濾網或過濾后,供應至Fab區。
一、潔凈室車間整體凈化:
可分為層流型和亂流型。層流潔凈室是指空氣由一側全面地以同速流向另一側,使室內產生的塵粒或細菌不會向四周擴散而被平推出室外或者經過回風口過濾器過濾處理,而達到好的除菌效果。亂流潔凈室是指空氣由潔凈室頂部經過組合式空調機組初中效過濾器過濾,加壓由經過保溫的風管分散送到各個房間,最后經過高效送風口送入潔凈室內,以達到凈化的效果。
高效過濾器除菌技術:空氣要達到潔凈室設計潔凈度主要靠高效或超高效過濾設備,向特定的環境內輸送潔凈空氣并能保持空氣的潔凈度。
二、潔凈室室局部高潔凈度凈化
1、百級層流罩:百級層流罩比較常用語醫院、制藥、實驗室研究行業局部空氣凈化裝置。2、百級超凈工作臺:采用水平或垂直層流方式凈化箱體內的空氣,可使操作臺內凈化達到很高級別。
3、靜電吸附除菌凈化技術:靜電吸附除菌是利用工業電除塵的原理,采用細線放電極與蜂巢狀鋁箱收集極形成級線裝置;采用鏡象力荷電吸附作用。
4、負離子凈化技術:負離子是一種帶負電的化學基團,能發生可逆性變化,存在時間極短,本身并無殺滅微生物的能力,主要是靠帶電離子與空氣中的微粒特別是微生物顆粒結合,形成多個顆粒凝聚變大從而迅速沉降,使空氣達到凈化的目的。南昌無塵凈化車間工程